LDI曝光机
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设备名称：LDI曝光机
设备品牌：源卓
设备产能：8500m²/月
设备工艺：线宽精度±5um，层间对位精度±20um，外层对位精度±10um，解析度60um，曝光均匀性≥95%，自动涨缩管控
设备优势：提高精细线路的制作能力，减少生产报废，同时提升生产效率。
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